화성시, 반도체 장비 세계 1위 ASML사 시설 투자 1조원 유치

4일 집무실에서 간담회 통해 지원 약속

정명근(왼쪽에서 네번째) 화성시장이 4일 시청 집무실에서 프랭크 헤이스케르크(왼쪽에서 다섯번째) ASML 대외총괄부사장 등과 간담회 후 기념촬영을 하고 있다. 화성시 제공

반도체 장비 세계 1위 기업인 네덜란드 ASML사가 차세대 노광장비(하이-NA EUV)를 활용한 삼성전자 초미세 반도체 제조 공정 연구개발 지원 시설을 경기 화성시에 건립한다. 부지매입 등 사업비만 1조 원에 달한다.

정명근 화성시장은 4일 시청 집무실에서 방한 중인 프랭크 헤이스케르크 ASML 대외총괄부사장 일행과 간담회를 갖고 ASML 연구시설 건립에 대한 의견을 나눴다. ASML은 반도체 생산에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비(반도체 기판에 설계대로 집적회로를 프린팅하는 장비)를 전 세계에서 유일하게 생산하는 반도체 장비 분야 1위 기업이다. 화성시 동탄2신도시(송동 684-1 일원)에 면적 1만9,630㎡ 규모에 15층 높이의 반도체 장비 부품 제조센터와 엔지니어 트레이닝 센터 등 조성 사업을 추진 중이다.

앞서 ASML은 지난달 28일 ‘ASML-삼성전자 연구지원시설’ 건립을 위해 LH(한국토지주택공사)와 부지 매입 계약을 체결했다. 이는 화성시가 K-반도체 핵심도시 도약을 위해 지난해 8월부터 피터 베닝크 전 ASML CEO를 비롯한 관계자와 지속해서 소통하면서 추가 투자를 요청한 데 따른 것이다.

프랭크 헤임스케르크 부사장은 “화성시의 전폭적인 지원으로 ASML 화성 뉴캠퍼스 조성이 계획대로 진행되고 있다”며 “삼성전자의 ASML의 중요 고객사인 만큼 이번 연구지원 건립을 통해 양사 간의 기술동맹을 돈독히 하고 국내 및 화성시 반도체기업과의 협력을 확대, 강화하는 계기가 될 수 있을 것”이라고 말했다.

정 시장은 “화성 뉴캠퍼스에 이어 1조 원 규모의 ASML·삼성전자 연구지원시설 건립부지로 화성시를 선택해 줘 감사하다”며 “화성에서 추진하는 ASML 프로젝트의 성공을 위해 각종 인허가 등 밀착지원하는 원스톱 서비스를 제공하겠다”고 말했다. 그러면서 “정부에서 추진 중인 첨단반도체기술센터(ASTC)의 화성시 유치를 위한 적극적인 지원과 조언을 부탁드린다”고 덧붙였다.

임명수 기자 sol@hankookilbo.com